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1.原子光譜的發(fā)現(xiàn)

原子光譜的發(fā)現(xiàn)，*早可追測(cè)到16世紀(jì)，在1666年牛頓（I.Newton）進(jìn)行了一個(gè)關(guān)鍵性實(shí)驗(yàn)[1]。他將自己房間弄暗，讓太陽光通過窗板上的小孔經(jīng)安置在入口處一個(gè)玻璃折射到室內(nèi)對(duì)面的墻上，觀察到太陽光經(jīng)玻璃棱鏡展開為各種顏色的光，發(fā)現(xiàn)了光的色象，通過實(shí)驗(yàn)建立起了光的色散理論，揭示了原子光譜的本質(zhì)。并于1672年在《哲學(xué)學(xué)報(bào)》上發(fā)表的“關(guān)于光和顏色的新理論”一文中，**把這些不同顏色的光帶稱為光譜（spectrum）。

2.原子光譜的基礎(chǔ)研究

1802年沃拉（w.h. WollastonFraunhofer）獨(dú)立地用間的細(xì)絲作為光柵及用帶狹縫的裝置，對(duì)太陽光譜進(jìn)行研究，觀察到在太陽的連續(xù)光中有量的暗線、發(fā)現(xiàn)了原子吸收光譜，這些暗線后來稱為夫荷費(fèi)線，直到1859年，德國的光譜物理學(xué)家基爾霍夫從實(shí)驗(yàn)中觀察到鈉光譜的亮雙線正好位于太陽光譜中夫瑯荷費(fèi)標(biāo)為D線的暗線位置上。他斷言:“夫瑯荷費(fèi)線的產(chǎn)生是由于太陽外層的原子溫度較低，而了溫度的太陽核心發(fā)射的連續(xù)輻射中某些特征波長所引起”從而明吸收與發(fā)之間流即爾定律），根據(jù)夫瑯荷費(fèi)線可以測(cè)定太陽大氣層的化學(xué)成分。

1826年塔耳波特（Talbot）將鹽加到火焰中觀察焰色的變化，可用于某些物質(zhì)的檢出。研究了Na、K、Li和Sr的乙醇火焰光譜和Ag、Cu和Au的火花光譜，初步確定元素的存在。

1835年惠特斯通（Whetstone）觀察了Hg、Zn、Cd、Bi、Sn和Pb的火花激發(fā)光譜，并用來確定元素的存在，稱可根據(jù)光譜線來辨別金屬元素。

1848年Foucault觀察到火焰中鈉發(fā)射的Na D線能被放在火焰后面的電弧中的鈉吸收，這是*早的原子吸收光譜實(shí)驗(yàn)。

1859年木生（R.Busm）和基爾霍夫（GKirchoff）研制了**臺(tái)實(shí)用的光譜儀，使用了能產(chǎn)生較高溫度和無色火焰的光源一本生燈，系統(tǒng)地研究了一些元素，確定了光譜與相所的原子性質(zhì)之間的簡單關(guān)系，奠定了光譜定性分析的基礎(chǔ)，一般認(rèn)為這是光譜分析的真正升始。

1859年發(fā)表的 Kirchoff定律明了光源中發(fā)射與吸收之間的關(guān)系:物體在同一溫度下單位時(shí)間內(nèi)所發(fā)射的某波長的能量與所吸收的同一波長的能量相同。

1861年， Kirchoff Bunsen指出，光源中的輻射是鹽類中金屬元素的特性，他們先后發(fā)現(xiàn)了新元素銫和銣，該工作成為現(xiàn)代光分析的先導(dǎo)。

1862年，Stokes發(fā)現(xiàn)英能透過紫外光，從而把光諧實(shí)驗(yàn)延伸到紫外區(qū)。 Mascara用照相法起了外光語測(cè)定了波長。之后， Rowland又將紫外光譜區(qū)實(shí)驗(yàn)延伸至2150（I=0.1nm）.Schumann制造了真空分光系統(tǒng)和熒光增感的照相版，光譜實(shí)驗(yàn)延伸至真空 紫外區(qū)1200

1868年，Andem Angtrom發(fā)表了太陽光中的1200條譜線，其中約800條譜線屬地球元素，他定的長達(dá)到6位有效數(shù)字，并以10^-8cm為單位，該單位被表述為，以紀(jì)念他的成就和沿用至今。

1873年洛克爾（ Lockyer）和羅伯茨（ Robents）發(fā)現(xiàn)了譜線強(qiáng)度、譜線寬度和譜線數(shù)目與分析物含量之存在一定的關(guān)系，開始建立起光譜的定量分析方法。

1882年哈特（ Hartley）提出*后線原理，建立了半定量方法即譜線星現(xiàn)法；在此基礎(chǔ)上格拉家持（ Gramont）做了大量深入的工作首先建立了發(fā)射光譜定量分析方法。

1883年 Hartley研究了金屬光語隨濃度的變化，提出了“*后線”概念。

1887年 Rowland發(fā)表了一個(gè)原子光譜譜線表。

1892年 Michelson用光的干涉技術(shù)測(cè)量三條Cd線的波長、有效數(shù)字達(dá)到8位。經(jīng)校正，1907年鎘紅線波長值6438 4696被定為一級(jí)波長標(biāo)準(zhǔn)。該譜線校正至15℃、于空氣氣壓760 mmHg（ 1mmHg133.322Pa）時(shí)波長值為6438.4695。目前的波長標(biāo)準(zhǔn)是1960年國際上致同意的⁸⁶Kr的一條譜線，真空下測(cè)得的速長值為6057.8021。

在此后的年代里，光譜分析在發(fā)新元素填充門捷列夫周期表上做出極大的貢獻(xiàn)。1860年從堿金屬中發(fā)現(xiàn)新元素Rb和Cs，1861年Crookes從硒渣中發(fā)現(xiàn)了T1(發(fā)出嫩綠色輻射線）。1863年Rich和 Richter在Zns中發(fā)了In。1875年日Boisbaudran從閃鋅礦中發(fā)現(xiàn)了Ga。光譜法還發(fā)現(xiàn)了一系列稀有氣體如He（1895）和稀有元素，如Tm、Ho（瑞典 Cleve，1879年），Sm（ Boisbaudran，1879年），Pr和Nd（奧地利von Welbsbach，1885年）、Lu（ Urbain和von Welsbach，1907年），以及Ne、 Ar、Kr、 Ge、Sc和Yb等。原子光譜法作為發(fā)現(xiàn)新元素的手段，做出過重大的貢獻(xiàn)，并在其發(fā)展史上留下一個(gè)輝煌的階段，作為定性分析*強(qiáng)有力的常規(guī)方法仍沿用至今。

1925年格拉奇（Gerlach）首先提出了譜線的相對(duì)強(qiáng)度的概念，即定量分析的內(nèi)標(biāo)原理，用內(nèi)標(biāo)法來進(jìn)行分析，提高了光譜分析的精密度和準(zhǔn)確度，為原子光譜定量分析奠定了基礎(chǔ)。

1930年羅馬金（LomakinScheibe）用實(shí)驗(yàn)方法建立了光譜線的譜線強(qiáng)度與分析物含量之間的定量關(guān)系，分別提出經(jīng)驗(yàn)式。這一經(jīng)驗(yàn)關(guān)系式I＝ac^b，稱為賽伯-羅馬金公式，至今仍是光譜定量分析的一個(gè)基本公式。

1939年，美國麻省理工學(xué)院t Harrison編著了《MIT波長表》，至今它仍被奉為光譜分析的經(jīng)典專業(yè)工具書**。

20世紀(jì)30年代火花光源、火花引燃的電弧等可控制激發(fā)條件的光源的出現(xiàn)，為光譜在化學(xué)分析上的應(yīng)用準(zhǔn)備了充分的理論基礎(chǔ)和物質(zhì)基礎(chǔ)。

第二次**大戰(zhàn)期間，光譜分析獲得極大的發(fā)展。美國圍繞曼哈頓原子彈工程，以鈾礦分析為代表的探礦和礦物分析，以鈾同位素測(cè)定為代表的高分辨率光譜分析，以燃料鈾分析為代表的痕量分析，都取得了重大進(jìn)展。戰(zhàn)爭(zhēng)結(jié)束后，一批闡述光譜分析應(yīng)用和光譜儀器的專著相繼問世，光譜分析成為分析化學(xué)的前沿。理論上的成熟和商品光譜儀在光學(xué)分析上的不斷完善和推廣，使之在國民經(jīng)濟(jì)各領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。到這個(gè)階段為止，其他光譜分支都尚未達(dá)到矚目的地位。這時(shí)所謂的光譜分析，實(shí)際上僅包括原子光譜分析中的原子發(fā)射光譜析。此后，光譜儀器的**，推動(dòng)了光譜分析技術(shù)的不斷發(fā)展。

1953年沃爾什（A. walsh）提出以空心陰極燈為光源的原子吸收光譜分析方法和儀器，1955年沃爾什和阿肯麥德（C.T.J.Alkemade）同時(shí)各自發(fā)表了原子吸收光譜分析方法，開創(chuàng)了火焰原子吸收光譜分析法。

1959年利沃夫（B.B.BOa）提出石墨爐原子化器，開創(chuàng)了無火焰原子吸光譜分析技術(shù)，1968年馬斯曼（H. Massmann）對(duì)小型石屬爐進(jìn)行改進(jìn)一一提出了與馬斯曼石墨爐商品化原子化器，由此發(fā)展起來的石墨爐原子化原子吸收光譜（GF-AAS）分析技術(shù)，使光譜分析法的**靈敏度達(dá)到10^-12g，大大促了原子光請(qǐng)分析的發(fā)展。使原子吸收光譜在20世紀(jì)70年代～20世紀(jì)80年代發(fā)展成為一項(xiàng)應(yīng)用廣泛的原子光譜分析技術(shù)。

20世紀(jì)初在實(shí)驗(yàn)和機(jī)理上原子熒光光譜（AFS）分析已被認(rèn)識(shí)，但作為分析技木生世紀(jì)60年代才發(fā)展起來。1962年阿肯麥德在第10屆國際光譜分析會(huì)議上提出測(cè)量源子產(chǎn)率的方法，1964年溫弗德納（J.D. Winefordner）用原子黨光光譜法測(cè)定了鋅、銅、汞，并導(dǎo)出了原子熒光的強(qiáng)度表述式，此后AFS迅速成為原子光譜分析的又一重要分支。

1968年Spectrochimica Acta主編 Boumans將該期刊分為分子光譜和原子光請(qǐng)兩部分，標(biāo)志著包括原子發(fā)射光譜、原子吸收光譜和原子熒光光譜的原子光譜分析成為一門獨(dú)立的學(xué)科。

20世紀(jì)60年代原子光譜分析出現(xiàn)了一系列的新激發(fā)光源，使原子光譜分析技術(shù)取大進(jìn)展，首先是1961年里德（T.B.Red）利用自行設(shè)計(jì)的高頻放電矩管裝置獲得大氣下電感耦合等離子體焰炬（ inductively coupled plasma torch），并預(yù)言這種等離子體焰可為原子光譜的激發(fā)光源，1964年英國人S. Greenfield和1965年美國人V.A. Fassel分別報(bào)道這種新的電感耦合等離子體激發(fā)光源用于原子發(fā)射光譜分析。經(jīng)過許多光譜分析家的力，電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜（ inductively coupled lasma atomic emission spectromerICP-AES）開始作為原子光譜的分析儀器和方法得到重大發(fā)展。到20世紀(jì)80年代，一整要專著、工具書的出版，以及商品儀器所占領(lǐng)的市場(chǎng)，標(biāo)志著ICP-AES在理論、應(yīng)用與是等方面已趨成熟，現(xiàn)已成為應(yīng)用*廣泛的分析技術(shù)**。

1962年布萊克（F. Brech）在第10屆國際光譜學(xué)會(huì)議上**提出了采用紅寶石微波激器誘導(dǎo)產(chǎn)生等離子體用于光譜化學(xué)分析，開發(fā)出激光誘導(dǎo)擊穿光譜（laser-induced breakdspectroscopy，LIBS）新技術(shù)。

1968年格里姆（W.R. Grimm）研發(fā)了輝光放電光源，發(fā)展了一類輝光放電原子發(fā)射譜儀器和分析技術(shù)，用于金屬合金、半導(dǎo)體和絕緣材料及金屬逐層分析。

1978年湯普遜（M. Thompson）等用氫化物發(fā)生（HG）-1CP-AES聯(lián)用技術(shù)測(cè)定As，Sb、Bi、Se、Te，靈敏度提高了一個(gè)數(shù)量級(jí)以上。同年溫莎（D.L. Windsor）等開發(fā)了氣相色語電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜（GC-ICP-AES）聯(lián)用技術(shù)，能同時(shí)檢測(cè)氣相色譜流出液中C、H、S、P、I、B和Si7個(gè)非金屬元素的，弗雷利（D.M. Fraley）、加斯特（C.BLGa）等分別開發(fā)了**液相色譜-電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜聯(lián)用技術(shù)（HPLC- ICP-AES）色譜-原子光譜聯(lián)用，綜合了色譜的高分離效率與原子發(fā)射光譜檢測(cè)的專一性和高靈敏度的優(yōu)點(diǎn)，用于元素形態(tài)分析，為原子發(fā)射光譜法開拓了新的應(yīng)用領(lǐng)域。

隨著高新技術(shù)的引入，一些新的光源（如微波等離子體、輝光放電、激光誘導(dǎo)等）的究成功，以及廣泛應(yīng)用微電子技術(shù)和數(shù)字化技術(shù)的結(jié)合，使原子光譜分析儀器向高精度和可靠性發(fā)展，向更寬應(yīng)用范圍發(fā)展，使原子光譜定量分析在現(xiàn)代分析化學(xué)中占有極為重要地位。

3.原子光分析位器的發(fā)展

1928年出了**臺(tái)品描進(jìn)儀Q-24中型石英攝英譜儀，1954年賈雷爾-阿什(Jarrel-Ash)公司生產(chǎn)了**臺(tái)平面光柵攝譜儀，使光譜分析成為工業(yè)上重要的分析方法，廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)等領(lǐng)域，在科學(xué)研究及生產(chǎn)控制中起了的積極的作用。

隨著電子技術(shù)的發(fā)展，光進(jìn)器也開始向光電化、自動(dòng)化方向發(fā)展。1944年海斯勒(Hasler）和迪特（Dieke）首推由美國ARL公司生產(chǎn)的光電直讀光譜儀，用衍射光柵作為色散元件，將待測(cè)元素分析線從出射狹縫引出，用12只光電倍增管接收，用光電法代替攝譜法；自1945年迪克和克羅斯懷特介紹了用于大型光柵攝譜儀的光電直讀儀以來，在20世紀(jì)50~60年代光譜儀器得到了逐步完，70年代以后，由于電子計(jì)算機(jī)和微處理機(jī)技術(shù)的迅猛發(fā)展，有力地保進(jìn)了原子光儀器的光電化和自動(dòng)化。

在對(duì)發(fā)射光法的光圓進(jìn)行深入研究和改單的過程中，人們發(fā)現(xiàn)了利用等離子等炬作為發(fā)

射光譜的激發(fā)光源，并采用AAS的溶液進(jìn)樣式；創(chuàng)立起一類共有發(fā)射光譜法多元素同時(shí)分析的特點(diǎn)又具有吸光譜法溶液進(jìn)樣的靈性和作的型儀答

發(fā)射光語分析技術(shù)推向一個(gè)新的發(fā)展階段。

早期的光電光儀局于有色金屬鋼鐵分析，隨著新型光源的發(fā)展，特別是ICP(電感耦合等離子體）的應(yīng)用，使得光電光位到飛速的發(fā)展，現(xiàn)在**上已有許多**生產(chǎn)各種類型的原子光譜儀，如美國的熱電（TJA)公司，珀金埃爾默（PE)公司、瓦里安（Varian）公司，英國希爾格（Hilger）公司，德國斯派克(Spectro)公司、耶拿（Yena）公司，法國若比·伊馮（JY）公司，日本島津公司、日立公司，意大利LAB公司等，制造的儀器種類多，性能和用途十分廣泛。

在光電光語儀發(fā)展的同時(shí)，原子吸收光譜儀從1959年澳大利亞GBC公司推出**臺(tái)商用儀器至今仍然不斷發(fā)展，火焰與石墨爐原子吸收光譜儀應(yīng)用十分普遍，不管是常量還是微量元素分析，都有原子吸收分析的一席之地。

原子熒光光譜儀是原子發(fā)射與原子吸收結(jié)合的產(chǎn)物，我國郭小偉等研制出氫化物發(fā)生原子熒光儀器，在測(cè)定可生成氫化物的元素As、Se、Sb、Bi、Hg等方面很有效，并發(fā)展成為一類具有中國特色的原子熒光儀器，在國內(nèi)有多家儀器廠生產(chǎn)。

在原子光譜分析的發(fā)展過程中，人們從光請(qǐng)儀器的光、分潛得，斷加以改進(jìn)，發(fā)展了火花/電弧，等離子體、輝光放電等不同特點(diǎn)的光譜分析方法和現(xiàn)代儀器。這些新光源的開發(fā)，使光電光譜儀的應(yīng)用從常量元素分析擴(kuò)展到高含量元素分析、痕量元素分析和表面逐層分析。因此，光電光譜儀不僅在采礦、冶金、石油、燃化、機(jī)械制造等工業(yè)中作為定性和定量分析的工具，而且在農(nóng)業(yè)、食品工業(yè)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、核能以及環(huán)保領(lǐng)域發(fā)揮著重要的作用。

隨著儀器制造技術(shù)的不斷發(fā)展，光儀器的分不斷得到提高(實(shí)際分辨率可達(dá)到0.005mm），波長應(yīng)用范圍得到拓寬（可以測(cè)長120~850nm，從遠(yuǎn)紫外光區(qū)到近紅外區(qū)的譜線），可以適用于復(fù)雜樣品的直接測(cè)定，以及金屬材料中的氮、氫、氧等氣體成分的快速測(cè)定。

儀器的靈敏度也顯著提高，火花源發(fā)射光譜儀器可以直接測(cè)定高純金屬中μg/g級(jí)的痕量元素；等離子體發(fā)射光譜儀器的分析靈敏度已接近石墨爐火原子吸收儀器測(cè)定ng/g級(jí)的分析水平。

儀器的自動(dòng)化程度也得到不斷發(fā)展，面向冶金工業(yè)大生產(chǎn)的全自動(dòng)光譜儀，從自動(dòng)制樣、測(cè)量到報(bào)出結(jié)果僅需90s，實(shí)現(xiàn)無人自動(dòng)操作。直讀儀器的結(jié)構(gòu)和體積也發(fā)生了很大變化，出現(xiàn)了結(jié)構(gòu)緊湊型直讀光譜儀，小型臺(tái)式或便攜式的直讀儀器，作為冶金、機(jī)械等行業(yè)中金屬料場(chǎng)的分析工具，是合**號(hào)的鑒別、廢舊金屬分類、金屬材料等級(jí)鑒別的一種有效工具光譜儀器正向更為實(shí)用和更為普及的方向發(fā)展。

20世紀(jì)90年代在ICP發(fā)射光譜儀器上**采用了中階梯光柵與棱鏡雙色散系統(tǒng)，產(chǎn)生二維光譜，適合于采用CCD、CID一類的面陣式檢測(cè)器，發(fā)展起一類兼具光電法與攝譜法優(yōu)點(diǎn)，且能更大限度地獲取光譜信息的同時(shí)型儀器。為了區(qū)別于多道型儀器受制于預(yù)先設(shè)定通道數(shù)的限制，光譜儀生產(chǎn)廠家紛紛推出所謂“全譜”直讀儀器。新型固體檢測(cè)器屬高集成性電子元件，每個(gè)像素僅為幾微米寬、面積只有十幾平方微米的檢測(cè)單元，同時(shí)檢測(cè)多條分析譜線，便于進(jìn)行譜線強(qiáng)度空間分布和背景信息的同時(shí)測(cè)量，有利于譜線干擾校正技術(shù)的采用，克服光譜干擾，提高選擇性和靈敏度。而且儀器的體積結(jié)構(gòu)更為緊湊，已成為現(xiàn)代直讀光譜儀器的發(fā)展方向。

盡管如此，現(xiàn)代的直讀光譜儀仍不夠完善，如分光系統(tǒng)制作復(fù)雜、新型光電轉(zhuǎn)換系統(tǒng)在光譜定量測(cè)定上的應(yīng)用技術(shù)仍有難點(diǎn)和需要改進(jìn)之處，設(shè)備安裝使用環(huán)境條件要求仍較高，高性能的儀器仍需在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)工作:與已被淘汰的攝譜儀相比，無法像照相干版記錄方式那樣保留所有譜線，只能對(duì)預(yù)先設(shè)定好的譜線進(jìn)行測(cè)定，由于受到分光系統(tǒng)和檢測(cè)器的種種限制，傳統(tǒng)光電倍增管檢測(cè)器*多只能記錄下50～60條譜線的信息，新型的固體檢測(cè)器雖有“全譜”記錄之稱，也只能記錄下在特定分光系統(tǒng)和檢測(cè)器范圍內(nèi)譜線的信息，仍不可能真正實(shí)現(xiàn)全譜記錄。因此，原子光譜儀器在色散系統(tǒng)結(jié)構(gòu)上的改變、固體檢測(cè)元件的使用、高配置計(jì)算機(jī)的引入以及新型激發(fā)光源技術(shù)的創(chuàng)新等方面，仍需進(jìn)一步發(fā)展。

4.原子發(fā)射光譜分析技術(shù)的進(jìn)展

與化學(xué)分析的發(fā)展歷程相似，原子發(fā)射光譜分析技術(shù)的**從20世紀(jì)50年代的儀器化、60年代光電直讀化、70年代的微機(jī)化、80年代的智能化到90年代以來的數(shù)字化，可以看出原子發(fā)射光譜儀器的發(fā)展也是向高靈敏度、高選擇性、快速、自動(dòng)、簡便和經(jīng)濟(jì)實(shí)用發(fā)展。

傳統(tǒng)的以光電倍增管為檢測(cè)器的電弧和火花光譜儀仍在進(jìn)一步的發(fā)展，并開發(fā)出高動(dòng)態(tài)范圍光電倍增管檢測(cè)器（HDD），檢測(cè)靈敏度和線性范圍都有較大的提高。在測(cè)光方式上通過對(duì)火花激發(fā)機(jī)理的研究和計(jì)算機(jī)軟件的應(yīng)用，提出了峰值積分法（PIM）、峰辨別分析（PDA）、單火花評(píng)估分析（SSE）、單火花激發(fā)評(píng)估分析（SEE）和原位分布分析技術(shù)（OPA），這些技術(shù)相應(yīng)的硬件和軟件的應(yīng)用，可以明顯地提高復(fù)雜樣品的分析靈敏度和準(zhǔn)確度。而PDA、SSE、SEE和OPA技術(shù)還在解決部分狀態(tài)分析的問題上發(fā)揮了作用，如鋼鐵中的固溶鋁和非固溶鋁的定量分析、氮和硫的夾雜物的測(cè)定等，使火花光譜分析的測(cè)定精密度和準(zhǔn)確度都有較大的提高。

火花光譜的測(cè)定范圍向遠(yuǎn)紫外波段擴(kuò)展，測(cè)定金屬材料中的氣體成分、超低碳和其他非金屬的方法和技術(shù)不斷改進(jìn)，可測(cè)定的氮、氧含量已經(jīng)達(dá)到10μg/g以下，碳含量可低至1μg/g，分析精度接近常規(guī)分析法的要求。

固體樣品直接分析一直是發(fā)射光譜的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)，但制備或得到樣品的困難也是其推廣應(yīng)用中所遇到的*大難題。電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜（ICP-AES）分析技術(shù)由于具有溶液進(jìn)樣的優(yōu)點(diǎn)，使發(fā)射光譜分析不僅在傳統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域冶金、地質(zhì)、機(jī)械制造等行業(yè)中作為定性和定量分析的工具，而且擴(kuò)大到農(nóng)業(yè)、食品工業(yè)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、核能以及環(huán)境保護(hù)等領(lǐng)域中作為化學(xué)成分的監(jiān)控手段，擴(kuò)展了發(fā)射光譜分析的應(yīng)用范圍，同時(shí)將發(fā)射光譜分析推向了新的發(fā)展階段。光譜儀器制造技術(shù)也在不斷提高，特別是中階梯光柵交叉色散和固體檢測(cè)元件等新技術(shù)在ICP直讀儀器上得到推廣應(yīng)用，推出所謂全譜型直讀儀器，成為今后發(fā)射光語同時(shí)型儀器的一個(gè)發(fā)展:也為照小型，實(shí)用化發(fā)展提供了技術(shù)基礎(chǔ)。

輝光放電（GD）用作原子發(fā)射光譜的激發(fā)光源，在直讀光譜儀器的推動(dòng)下得到迅速的發(fā)展，GD-OES的商品儀器也得到發(fā)展。直流輝光放電(DC-GD)模式用于分析導(dǎo)體樣品，射頻輝光放電（RF-GD）式可以分所有固體(導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體）。GD作為AES的激發(fā)光源對(duì)樣品表面具有賤射和激發(fā)能力，有利于進(jìn)行逐層分析和薄層樣品的分析。從而使發(fā)射光譜分析的應(yīng)用擴(kuò)大到材料表的解分析:將返射光譜分析推向又一新的應(yīng)用領(lǐng)域。

原子發(fā)射光譜分析技術(shù)在材料分析上的應(yīng)用:在傳結(jié)應(yīng)義上的成分含量分析方面取得了高靈敏度，高精度、效、快速:經(jīng)該和使用的**，問時(shí)在各成分的分布分析及元素的狀態(tài)分析方面也取得了進(jìn)展。

在了解和利用材料方面，材料的平均分無是極其重要的，而微量元素和夾雜元素的含量，化合態(tài)以及它們?cè)诓牧现械姆植?，也是材料研究中不可或缺的信息，成分分布分析包括表面成分分布分析和深度分析兩部分，作為發(fā)射光譜的原態(tài)分析，通過光譜法不僅可以獲得宏觀的成分分布，也可以得到材料中的部分微觀成分的信息，這將是發(fā)射光譜分析技術(shù)在實(shí)際應(yīng)用領(lǐng)域里的發(fā)展前景。

5.原子光譜分析法在我國的發(fā)展概況

原子光譜分析在我國的真正發(fā)展開始于20世紀(jì)50年代，攝譜儀的大量引入，促進(jìn)了原子發(fā)射光譜分析在各領(lǐng)域中的推廣應(yīng)用，由黃本立領(lǐng)導(dǎo)的長春應(yīng)用化學(xué)研究所編制、科學(xué)出版社出版的《混合稀上元素光譜圖》，是我國光譜分析工作者早期*重要的專業(yè)工具書。

原子光譜分析發(fā)展*早的是原子發(fā)射光譜分析。在我國*早廣泛應(yīng)用原子發(fā)射光譜分析的是地質(zhì)部門，20世紀(jì)50年代初地礦部就開始著手籌建光譜實(shí)驗(yàn)室，培訓(xùn)分析人員，大力推廣原子發(fā)射光譜分析技術(shù)，50年代后期研制出具有自動(dòng)控制功能的粉末撒樣專用裝置，60年代末期又獨(dú)立地發(fā)展為吹樣光譜分析法。20世紀(jì)50年代中期，建立了**批光譜定量分析方法，到文化大革命前，地質(zhì)部門已經(jīng)能用電弧光譜粉末法分析幾十種元素。

20世紀(jì)70年代，我國開始對(duì)ICP光源進(jìn)行研究開發(fā)，李炳林、黃本立、朱錦芳等較早地進(jìn)行了ICPAES的應(yīng)用研究，直至80年代，國內(nèi)對(duì)CP-AES的研究，多限于使用自己組裝的儀器，且多為攝譜法，90年代國內(nèi)ICP分析技術(shù)得到迅速發(fā)展。

20世紀(jì)90年代，金欽漢等**提出了一種微波等離子體炬（microwave plasma torch，MPT）新型光源，可在常壓下以He、Ar或N2工作，焰矩的環(huán)形結(jié)構(gòu)類似ICP焰矩，形成中央通道，在開管振腔獲得等離子體，提高了等離子體對(duì)樣品的承受能力，輸入功率大于2W即能工作，輸入功率大于29W，工作十分穩(wěn)定。

20世紀(jì)60年代~80年代原子吸收光譜分析在我國獲得很大的發(fā)展。國產(chǎn)商品儀器趨于成熟，在各種領(lǐng)域中的應(yīng)用達(dá)到普及的程度，在原子熒光光譜分析方面，開發(fā)了具有我國特色的光譜儀器，并得到推廣應(yīng)用。

21世紀(jì)初，王海舟等自主開發(fā)了單次火花放電光譜高速采集技術(shù)和光譜數(shù)字解析技術(shù)、無預(yù)燃連續(xù)激發(fā)同步掃描定位技術(shù)，開創(chuàng)了火花放電發(fā)射光譜金屬原位分析新方法，**采用統(tǒng)計(jì)解析的方法定量表征金屬材料的偏析度，疏松度、夾雜物分布等指標(biāo)2002年北京納克分析儀器有限公司研制成功**臺(tái)金屬原位分析儀，使AES儀器由單一的成分分析儀器發(fā)展成為能同時(shí)得到金屬材料中較大尺度范圍內(nèi)成分、狀態(tài)分布及結(jié)構(gòu)的定量統(tǒng)計(jì)信息的多功能儀器。

進(jìn)入21世紀(jì)以來，我國在各種原子光譜分析方法及儀器的研發(fā)與應(yīng)用，如輝光放電光譜GDS、激光光譜LIBS、中階梯光柵棱鏡雙色散-CTD光譜儀器分析技術(shù)及儀器研發(fā)和商品化進(jìn)程方面得到**發(fā)展。蒸氣發(fā)生原子熒光光譜商品儀器的研發(fā)生產(chǎn)與應(yīng)用技術(shù)一直居于國際**地位。原子吸收光譜儀器以及火花源/電弧直讀光譜儀器的制造水平及其商品化程度已達(dá)到國際同類型儀器的相同水平，個(gè)別類型儀器具有獨(dú)創(chuàng)性，原子吸收和原子熒光光譜儀器在小型化方面處于**地位。